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SMIC 중국산 노광 장비로 'ASML 의존 낮추기' 총력, AI 반도체 생산 목표

김용원 기자 one@businesspost.co.kr 2025-09-17 13:31:14
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SMIC 중국산 노광 장비로 'ASML 의존 낮추기' 총력, AI 반도체 생산 목표
▲ 중국 SMIC가 자국 기업의 반도체 노광장비를 생산에 도입할 계획을 두고 있다. 네덜란드 ASML에 의존을 낮춰 미국 정부 규제의 영향을 최소화하려는 목적으로 해석된다.
[비즈니스포스트] 중국 1위 파운드리 업체 SMIC가 처음으로 자국 기업의 반도체 노광장비를 활용해 인공지능(AI) 반도체 생산을 추진한다.

첨단 미세공정 반도체 생산에 네덜란드 ASML 장비 의존을 낮춰 미국 정부의 기술 규제 영향을 최소화하려는 시도로 분석된다.

투자전문지 인베스팅닷컴은 17일 “SMIC가 중국에서 최초로 개발된 첨단 반도체 장비를 도입을 실험하고 있다”는 영국 파이낸셜타임스 보도를 전했다.

SMIC는 중국 상하이에 기반을 둔 스타트업의 DUV 노광장비를 활용하고 있는 것으로 전해졌다.

DUV 장비는 반도체에 회로를 그리는 노광 공정에 쓰인다. 첨단 미세공정 반도체 특성상 고사양 노광장비 활용은 필수로 꼽힌다.

네덜란드 ASML이 현재 글로벌 노광장비 시장에서 절대적 영향력을 구축하고 있다.

미국 정부가 중국에 ASML의 장비 판매 규제를 점차 강화하면서 SMIC를 비롯한 중국 기업들은 고성능 DUV 기술 도입에 어려움을 겪고 있다.

SMIC이 결국 중국 기업의 장비를 도입해 ASML에 의존을 낮추며 미국의 규제 영향을 최소화하려 시도하고 있는 것으로 파악된다.

중국은 정부 주도의 반도체 공급망 자급체제 구축 전략으로 대부분의 장비를 국산화했다. 그러나 노광장비 자급률은 매우 낮은 수준으로 알려졌다.

파이낸셜타임스는 SMIC가 도입한 중국 기업의 노광장비도 초반 성과는 만족스러운 수준이지만 대량생산에 활용될 수 있을지는 아직 분명하지 않다고 덧붙였다. 김용원 기자

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